国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C30B025/18(4) C23C014/06(2) C23C014/35(2)
C23C016/26(2) C30B029/40(2) H01L021/02(2)
H01L021/205(2)
发明人 NING J(4)
公开年 2022(2)
申请年
专利权人 UNIV XIDIAN(4)