| 国家/地区 |
中国(4)
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| IPC部 |
B(4)
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| IPC大类 |
B01(4)
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| IPC小类 |
B01J(4)
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| IPC |
C23C016/56(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M
CHOI J, SHIN H, YOON S, CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, IN Z
