国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B01(5)![]() |
IPC小类 |
B01J(5)![]() |
IPC |
C23C016/01(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | 2016(3) |
专利权人 |
HEISE S E, BEDWORTH P V, SWETT J L, SINTON S W
CHOUBAK S, LEVESQUE P, GAGNON P, MARTEL R, DESJARDINS P
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
CHOI J, SHIN H, YOON S, CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, IN Z