国家/地区 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 B01(5)
IPC小类 B01J(5)
IPC C23C016/01(5)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2016(3) 
专利权人