国家/地区 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 B01J(6)
IPC C23C016/30(6)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3) 
专利权人