国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B01(6)![]() |
IPC小类 |
B01J(6)![]() |
IPC |
C23C016/30(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 | 2020(3) |
专利权人 |
VINIT K, KIM H U, LEE J, SEOK H, KIM T, KIM T S, SEOK H H, WOO K H, CANADEVINIT
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
CHENG L, ZHENG H, XU W, WANG S
PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M