国家/地区 | 中国(2) 韩国(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B01(3)![]() |
IPC小类 |
B01J(3)![]() |
IPC |
C23C016/44(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2017(3)![]() |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M
SWETT J L, BEDWORTH P V, HEISE S E, SINTON S W, SIMON S M