国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
B32(4)![]() |
IPC小类 |
B32B(4)![]() |
IPC |
C23C014/06(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 | EV GROUP THA.(2) |
BURGGRAF J, JUERGEN B
MOKKAPATI V R, POVAZAY B, UHRMANN T, ULLMANN T, MOKKAPATI V R S S, SARMA M V R, THOMAS A
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H