国家/地区 | 美国(5) 世界知识产权组织(4) 韩国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2) |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B32(5)![]() |
IPC小类 |
B32B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2016(5)![]() |
申请年 | 2015(4) |
专利权人 |
WAN S K, HEE H J, HEE H B, KIM W S, HAN J H, HONG B H
JOHNSON B Y, MAZUMDER P, SONI K K