国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5)
IPC C01B031/02(5) C01B031/04(4) B82Y040/00(3)
C23C016/26(3) H01L021/02(3) B05D005/12(2)
B32B009/00(2) B82Y030/00(2) C23C016/56(2)
C30B029/02(2) H01L021/20(2) H01L021/205(2)
发明人
公开年 2009(2) 2010(2)
申请年 2009(5)
专利权人

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J