国家/地区 美国(4) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5)
IPC C23C014/06(5)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(3) 
专利权人