国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/46(4)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(4)![]() |
申请年 | 2013(4) |
专利权人 |
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
SHI H, LI Z, DU C, ZHANG W