国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2013(2) 2017(2) |
专利权人 | HANWHA TECHW.(2) SAMSUNG TECH.(2) |
KIM Y K, YONG K K, KIM Y, KI K Y
HARUTYUNYAN A, HARUTYUJAN A
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
SONG Y, KIM H, HONG B, AHN J, AHN J H, HONG B H, KIM H K, SONG Y I