国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/184(2)
C23C016/02(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2020(4)
申请年 2019(2) 
专利权人