国家/地区 美国(3) 德国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
C23F001/02(3) B32B003/00(2) B32B003/12(2)
B32B009/00(2) B32B009/04(2) C01B031/02(2)
H01B013/00(2) H01L021/02(2)
发明人 MAAROUF A(3)
公开年 2013(2)
申请年
专利权人 INT BUSINESS.(3) MAAROUF A(2) MARTYNA G J(2)