国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82Y(3)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/186(3)
C23C016/01(3) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
C23C016/34(3) H01G009/20(3) H01L031/0224(3)
发明人 MAAROUF A A(3)
公开年 2023(2)
申请年 2022(3)
专利权人 UNIV IMAM AB.(3)