国家/地区 | 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C014/06(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(3) |
申请年 | 2021(2) |
专利权人 |
ZERGIOTI I, PAPAZOGLOU S, ZACHARATOS F, LOGOTHETI A, PESQUERA A, ZURUTUZA A, NAVEH D
NAOYA N, KAZUNORI T, NOSAKA N, TAKANASHI K
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G