国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C30B(3)
IPC B82Y040/00(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(2)
申请年 2017(3)
专利权人