国家/地区 美国(4) 中国(3) 世界知识产权组织(3) 印度(2) 韩国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C23C016/34(2) C30B025/18(2) C30B029/02(2)
C30B029/38(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(4)
申请年 2020(5)
专利权人