国家/地区 日本(2) 韩国(2) 美国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C30B025/18(3) C30B029/02(3) B01J023/755(2)
C01B032/186(2) C23C016/26(2)
发明人
公开年 2022(4)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人