国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C016/26(3) C30B025/18(3) C01B032/186(2)
C23C014/06(2) C30B029/02(2)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2015(2)  2016(2) 
专利权人