国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/02(2) C23C016/34(2) C30B025/18(2)
C30B029/38(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人