国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)![]() |
IPC |
C23C016/02(2)
C23C016/34(2)
C30B025/18(2)
C30B029/38(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2020(3)![]() |
专利权人 |
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H
LEE C, SHIN H, HONG S, MA K, LEE C S, SUK S H, SHIN H J, LI C, SHEN X
MUNSHI M, WEMAN H, DHEERAJ D L, FIMLAND B M, VIGEN L, BARRIET D, PIMLANDBJOERNOBEEM, WIGGENREIDULPH, DAVID B