国家/地区 台湾(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C23C016/455(2) C30B025/18(2) C30B029/02(2)
H01L021/02(2)
发明人 DIXON S(2) GUINEY I(2)
公开年 2022(3)
申请年 2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(2)