国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) B82Y(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC C23C016/01(5)
发明人 LIU J(2)
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人