国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
B82Y(2)
C01B(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/01(5)![]() |
发明人 | LIU J(2) |
公开年 |
2012(5)![]() |
申请年 | 2012(3) 2011(2) |
专利权人 |
FAN X, JIANG S, LIU J, LIU M, MAN B, XU S, YANG C, CHEN C, LIU A
DENG P, GUO H, LEI T, ZHANG K, ZHANG Y
SONG B, PENG P, JIN H
AHN J, BAE S K, HONG B H, JANG H, JUNG M H, KIM S J, LEE Y, YOO J B, AHN J H, LIU Z, BAE S, HONG B, LI R, JUNG M, KIM S