国家/地区 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C25D(4) C01B(3)
B01J(2) B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/06(5)
发明人 LIPOMI D J(2) ZARETSKI A(2)
公开年 2021(2)
申请年
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)