国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4) B(3) H(2)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) C25D(3)
B01J(2) H01L(2)
IPC C23C016/06(4)
发明人 LIPOMI D J(2) ZARETSKI A(2)
公开年 2021(2)
申请年
专利权人 UNIV CALIFOR.(2)