国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(4) B82Y040/00(3) B82Y030/00(2)
C01B031/00(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2009(2) 2011(2)
申请年 2009(4)
专利权人