国家/地区 中国(4) 美国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 韩国(2)
IPC部 C(5) B(4) H(3)
IPC大类 C01(5)
IPC小类 C01B(5) C30B(5) B82Y(3)
H01L(3) C04B(2) C23C(2)
IPC C01B021/064(5)
发明人
公开年
申请年
专利权人