国家/地区 中国(5) 韩国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C30B(5) H01L(4)
C01B(3) B32B(2) C25D(2)
IPC C23C028/00(5)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人