国家/地区 | 中国(5) 韩国(4) 美国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
C30B(5)
H01L(4)
C01B(3) B32B(2) C25D(2) |
IPC |
C23C028/00(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
PARK H B, KIM H, YOON H W, PARK S M, LEE M Y, HO B P, HEE W Y, SUN M P, YONG L M, LEE M, PARK H, PARK S, YOON H