国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C01B032/188(2) C30B029/02(2) C30B033/02(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(2)
申请年 2017(3)
专利权人