国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/04(2) C01B032/182(2)
C30B029/02(2) C30B029/14(2) H01L021/20(2)
H01M004/02(2) H01M004/587(2)
发明人 MIWA T(2) MOMO J(2) NOMOTO K(2)
公开年 2016(4)
申请年 2015(5)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)