| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 |
B(6)
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| IPC大类 |
B01(6)
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| IPC小类 |
B01J(6)
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| IPC |
C23C014/18(6)
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| 发明人 | ZHU Y(2) |
| 公开年 | 2017(2) 2021(2) |
| 申请年 | 2017(3) |
| 专利权人 |
CHEN X, HOU M, YAN L, XIE B, GUO Y, CHEN Y
KIM T S, SEOK H H, LEE I, WOO K H
LIU D, WANG J, SHENG H, LI Z, ZHU Y, LV G
