国家/地区 中国(5)
IPC部 B(6)
IPC大类 B01(6)
IPC小类 B01J(6)
IPC C23C014/18(6)
发明人 ZHU Y(2)
公开年 2017(2) 2021(2)
申请年 2017(3) 
专利权人