国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B05(3)![]() |
IPC小类 |
B05D(3)![]() |
IPC |
C23C016/56(3)
B05D003/02(2)
B05D003/06(2)
B05D005/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 | 2010(2) |
申请年 | |
专利权人 |