国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B05(3)
IPC小类 B05D(3)
IPC C23C016/56(3) B05D003/02(2) B05D003/06(2)
B05D005/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2010(2)
申请年
专利权人