国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B05(5)
IPC小类 B05D(5)
IPC B05D005/12(3) B05D003/02(2) B05D007/00(2)
B05D007/24(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(4) 
专利权人