国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B05(5)![]() |
IPC小类 |
B05D(5)![]() |
IPC |
B05D005/12(3)
B05D003/02(2)
B05D007/00(2)
B05D007/24(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(4) |
专利权人 |
KOJI S, TETSUHIKO T, HIROKI M, YUKO U, UENO Y, MIYAZAKO H, TESHIMA T, SAKAI K
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H
GLASS H, GUINEY I, TYLER M, THOMAS S