国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B05(4)
IPC小类 B05D(4)
IPC B82Y040/00(4) B82Y030/00(3) B05D001/02(2)
B05D003/02(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2)
C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人