| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(3)
|
| IPC部 |
B(3)
C(3)
H(2)
|
| IPC大类 |
B05(3)
|
| IPC小类 |
B05D(3)
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| IPC |
C23C016/56(3)
B05D003/02(2)
B05D003/06(2)
B05D005/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2010(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
