国家/地区 |
日本(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
B05(5)![]() |
IPC小类 |
B05D(5)![]() |
IPC |
B82Y030/00(4)
B82Y040/00(4)
B05D005/12(3)
C01B031/02(3) C01B032/194(3) B01J037/02(2) C01B031/04(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
YAMADA A, MIKOSHIBA S, ONO A, KUDO Y, TAMURA J, KITAGAWA R, TSUTSUMI E, YAMAGIWA M, SUGANO Y, MOTOSHIGE A, KANNO Y, TAMURA A
GOLOVCHENKO J A, LU B, KUAN A T, GOLOVCHENKO J, KUAN A
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R