国家/地区 |
美国(7)![]() |
IPC部 |
B(7)
C(5)
H(5)
G(2) |
IPC大类 |
B05(7)
B82(6)
H01(5)
C01(4) B32(2) C23(2) |
IPC小类 |
B05D(7)![]() |
IPC |
B82Y040/00(5)
B82Y030/00(4)
B05D005/12(3)
C01B031/04(3) B82Y010/00(2) C01B031/02(2) C01B032/194(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L051/00(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(7)![]() |
申请年 |
2013(7)![]() |
专利权人 |
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
HONG B H, HAN J H, HUI H B, HUI H J
AKSAY I A, KORKUT S, POPE M, PUNCKT C, AKSAY L A
HUANG J, KIM J, TUNG V C