国家/地区 | 中国(5) 美国(5) 世界知识产权组织(4) 德国(3) 日本(3) 韩国(2) |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)
B32B009/00(4)
B32B015/04(3)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3) B32B009/04(2) C01B031/02(2) C01B032/186(2) H01L021/205(2) H01L021/31(2) |
发明人 | |
公开年 |
2013(6)![]() |
申请年 |
2013(6)![]() |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
LI G, WANG Y, LEE K
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
REN Y, CHEN Z, ZHANG Y, ZENG F, MA H, DING P, CHEN H, XU H