国家/地区 中国(5) 美国(5) 世界知识产权组织(4) 德国(3) 日本(3) 韩国(2)
IPC部 B(6)
IPC大类 B32(6)
IPC小类 B32B(6)
IPC C23C016/26(6) B32B009/00(4) B32B015/04(3)
B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/04(3)
B32B009/04(2) C01B031/02(2) C01B032/186(2)
H01L021/205(2) H01L021/31(2)
发明人
公开年 2013(6)
申请年 2013(6)
专利权人