国家/地区 世界知识产权组织(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B32(5)
IPC小类 B32B(5)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(4) B32B009/00(3)
B32B018/00(3) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
H01L021/683(2)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(5)
专利权人