国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 B82(5) C01(5) H01(3)
C08(2)
IPC小类 B82B(5)
IPC B82B003/00(4) B82Y040/00(4) C01B031/04(4)
B82B001/00(3) B82Y030/00(3) C01B031/02(3)
H01L021/02(3) H01L029/16(3) B82Y010/00(2)
B82Y099/00(2) C01B031/00(2) C01B032/184(2)
C01B032/186(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
发明人
公开年 2012(5)
申请年 2012(5)
专利权人