国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4) C01(3) H01(3)
C09(2)
IPC小类 B82B(4)
IPC B82B003/00(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
B82B001/00(2) B82Y099/00(2) C01B031/00(2)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/186(2)
H01L021/02(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人
公开年 2012(4)
申请年 2012(4)
专利权人