国家/地区 美国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B32(4)
IPC小类 B32B(4)
IPC C01B031/04(4) C01B031/02(3) B82B001/00(2)
B82B003/00(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/00(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2011(4)
专利权人