国家/地区 | 美国(3) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B82(3)![]() |
IPC小类 |
B82B(3)![]() |
IPC |
H01L021/02(3)
H01L029/16(3)
B82B003/00(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2) C30B025/04(2) C30B025/18(2) H01L029/06(2) H01L029/778(2) |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 |
2012(3)![]() |
专利权人 |
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S