国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 B82B(3)
IPC H01L021/02(3) H01L029/16(3) B82B003/00(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C30B025/04(2) C30B025/18(2)
H01L029/06(2) H01L029/778(2)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2012(3)
专利权人