国家/地区 韩国(12) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(12) B(10) H(4)
G(2)
IPC大类 C01(12) B01(7) H01(4)
B82(3) C23(3) G01(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B031/02(12) B01J019/10(3) C23C016/26(3)
H01B001/04(3) B01J019/08(2) B01J019/12(2)
B82B003/00(2) B82Y040/00(2) H01L031/042(2)
发明人 CHOI I S(2) FEI L(2) HONG S(2)
JUNG J H(2) KIM S O(2) LEE K J(2)
OH I K(2) SEO T S(2) VADAHANAMBI S(2)
公开年 2013(9)
申请年 2011(12)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(12)