国家/地区 | 中国(2) 日本(2) |
IPC部 | C(3) |
IPC大类 | C01(3) C23(3) |
IPC小类 |
C01B(3)![]() |
IPC |
C23C014/06(3)![]() |
发明人 |
XIE X(3)
DING G(2)
JIANG M(2)
TANG S(2) WANG H(2) XIE H(2) |
公开年 | |
申请年 | 2015(2) |
专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)![]() |
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
HE L, JIANG M, LI L, XIE X, TANG S, ZHANG D, XIE H, WANG H, CHEN L
DI Z, CHEN D, DING G, WANG G, XIE X, ZHANG M, YE L, ZHENG X, LU Z