国家/地区 中国(2) 日本(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C23(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C014/06(3)
发明人 XIE X(3) DING G(2) JIANG M(2)
TANG S(2) WANG H(2) XIE H(2)
公开年
申请年 2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)