国家/地区 中国(4) 世界知识产权组织(3) 美国(2)
IPC部 C(4) B(2)
IPC大类 C01(4) C23(4) B82(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C016/02(4)
发明人 JIANG M(4) TANG S(4) XIE X(4)
DING G(3)
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)