国家/地区 | 中国(4) 世界知识产权组织(3) 美国(2) |
IPC部 | C(4) B(2) |
IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
B82(2)
|
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/02(4)![]() |
发明人 |
JIANG M(4)
TANG S(4)
XIE X(4)
DING G(3) |
公开年 | 2012(3) |
申请年 | 2011(2) |
专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)![]() |
HE L, JIANG M, LI L, XIE X, TANG S, ZHANG D, XIE H, WANG H, CHEN L
DING G, JIANG M, SHEN H, SUN L, TANG S, WU T, XIE X
CHEN J, DING G, JIANG M, TANG S, WANG C, XIE X