国家/地区 韩国(3) 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4) H01L051/00(2)
发明人 KIM T(4)
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(4)
专利权人