国家/地区 英国(4) 德国(2) 美国(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) C23(3) H01(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/186(4) C23C016/26(3) H01L021/02(2)
发明人 THOMAS S(4)
公开年 2022(4)
申请年 2021(2)  2022(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(4)