国家/地区 日本(4) 中国(3) 美国(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(4) H(4) B(3)
D(3)
IPC大类 C01(4) H01(4) D01(3)
B32(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/02(4)
发明人 HIGAI S(2) HIGAKI G C C(2) HIGAKI S(2)
HIGAKI S G C C(2) YANAGISAWA G C C(2) YANAGISAWA T(2)
YANAGISAWA T G C C(2)
公开年 2003(4)
申请年 2002(4)
专利权人 GSI CREOS CO.(2)