国家/地区 美国(16) 世界知识产权组织(13) 欧洲专利局(EPO)(12) 中国(11) 日本(11) 韩国(11) 台湾(4) 新加坡(3) 澳大利亚(2) 法国(2) 以色列(2) 印度(2)
IPC部 C(19) B(17) H(11)
IPC大类 C01(19) B82(17) H01(11)
C23(4) C09(3) C25(3)
C30(3) B01(2) B32(2)
C08(2)
IPC小类 C01B(19)
IPC C01B032/184(19)
发明人
公开年 2013(19)
申请年 2013(10)  2012(6)  2011(3) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)